澳门永利5335cc首批i12-F300超精密晶圆缺陷检测产品成功发运
近日,澳门永利5335cc首批i12-F300超精密晶圆缺陷检测设备在澳门永利5335合肥成功发运,顺利交付国内集成电路领域重要客户。
澳门永利5335cc自主研发的i12-F300设备作为公司新一代晶圆检测产品,凭借澳门永利5335多年来在集成电路晶圆检测领域积累的丰富经验和技术储备,以多模式的高精度光学成像、高稳定性成像控制、高效率数据处理系统、多类型物料兼容为基础,结合澳门永利5335专有的智能检测+分类算法和软件系统,相对于已有集成电路晶圆缺陷检测产品,可提供更强大的缺陷检测能力和更高的检测效率,满足不同集成电路客户工艺环节中细微缺陷管控需求。
澳门永利5335cci12-F300超精密晶圆缺陷检测设备
在集成电路晶圆制造环节,i12-F300设备可应用于光刻后、蚀刻后、化学研磨后、薄膜沉积等工艺后的缺陷检测,实现快速工艺监测和问题反馈,减少客户良率损失。i12-F300设备可搭配澳门永利5335已有边缘、背面检测模块,实现对晶圆正面、背面、边缘全方位检测和质量管控。此外,该设备可实现深亚微米检测精度,在多种场景下用于产线高精度检测场景,补充客户产线昂贵纳米检测设备产能,降低客户使用成本。另外,通过兼容透明/半透明基底、翘曲/键合片等基底,i12-F300可用于化合物半导体、先进封装等领域,对晶圆产品实现高精度管控,助力客户产线降本增效、实现零缺陷目标。
i12-F300的推出,进一步完善了澳门永利5335在晶圆检测领域的产品布局,这是澳门永利5335集成电路晶圆缺陷检测领域的重大突破,也是迈入国产替代关键性的一步。未来,澳门永利5335将持续加大研发投入,精准把握客户需求,不断推出满足客户需求的新产品,填补国内相关半导体设备领域的空白,为广大客户创造更多独特价值。